潔凈室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,潔凈室使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
潔凈室狀態分為以下三種:空態:已經建造完成并可以投入使用的潔凈室(設施)。它具備所有有關的服務和功能。但是,在設施內沒有操作人員操作的設備。靜態:各種功能完備、設定安裝妥當,可以按照設定使用或正在使用的潔凈室(設施),但是設施內沒有操作人員。動態:處于正常使用的潔凈室,服務功能完善,有設備和人員;如果需要,可從事正常的工作。在潔凈室內,從送風口到回風口,氣流流經途中的斷面幾乎沒有什么變化,加上進風靜壓箱和高效過濾器的均壓均流作用,全室斷面上的流速比較均勻,而至少在工作區內流線單向平行,沒有渦流。這也就是單向流潔凈室的三大特點。
在潔凈室中進行干燥是一件非常棘手的事情。因為潔凈室中有著諸多的要求:應減少多余的管道或者供應通道,將新鮮空氣供氣管道的數量到比較低程度,干燥過程越快越好,干燥時的能源消耗越少越好;并盡可能地不在潔凈室內交換空氣,以避免影響潔凈室的潔凈度。同時,鑒于企業生產廠房的面積有限,干燥機的占地面積同樣越小越好。吸收了水分的潮濕空氣被輸入潔凈室中烘干,干燥機的熱泵會抽取空氣中的水分。在熱泵的作用下,空氣中的潮氣遇冷凝結成水,從而排出干燥機外。除此之外,冷卻了的空氣再次被加熱并送去干燥待干燥的物體。整個干燥過程都是在一個封閉的循環過程中完成的,因此不會受到外部環境的影響。重要的是,生產環境和潔凈室環境也不會受到干燥工藝過程的影響。在單向流潔凈室內,干凈氣流不是一股或幾股,而是充滿全室斷面,所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對室內臟空氣的摻混稀釋作用,而是靠潔凈氣流推出作用將室內臟空氣沿整個斷面排至室外,達到凈化室內空氣的目的。通過上面分析,可以認為保證單向流潔凈室特性(高潔凈度和快速自凈恢復能力)的重要先決條件有兩個:①潔凈室來流的潔凈度;②潔凈室來流的活塞流情況;根據流體力學原理,來流條件對以后的流動狀況將有直接的重要影響,潔凈室送風面出口氣流也就是工作區的來流。上一個:模塊化自動化可移動GMP潔凈室
下一個:潔凈室在調試中的注意事項有哪些
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